特許
J-GLOBAL ID：200903023557739004
ステージおよびそれを用いた電子顕微鏡装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小川 勝男
, 田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-364930
公開番号（公開出願番号）：特開2004-199928
出願日： 2002年12月17日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】ドリフトの小さい電子顕微鏡用ステージを実現する。また、ドリフトによる像逃げや寸法測定精度の低下が無い電子顕微鏡を実現する。【解決手段】送りナット5とテーブル3の結合部に、ガタ結合とバネ結合を並列に備えた構造を用い、位置決め後に静止最大摩擦力より小さい推力を制御性良くテーブルに加えられるようにする。さらに、ドリフト速度検出回路54およびドリフトサーボ回路55を設け、位置決め完了後にドリフト速度サーボにモータの制御を切り替える。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
ベースと、
前記ベース上に設けられた滑り案内面上を移動可能なテーブルと、
前記テーブルに固定されたガタ部材と、
前記ガタ部材へ力を伝達する伝達部材が固着された結合部材と、
前記結合部材に取り付けられ、前記ガタ部材と前記結合部材とを結合するバネ部材とを備え、
前記結合部材は前記ガタ部材に前記バネ部材を介して力を伝達し、一定の移動後に前記伝達部材の動力が前記ガタ部材に伝達されることを特徴とするステージ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5C001AA03
, 5C001AA04
, 5C001CC04
, 5C001DD02
