特許
J-GLOBAL ID：200903085322294191

試料ステージ

発明者：
瀬谷 英一

瀬谷 英一 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-176474
公開番号（公開出願番号）：特開2002-367553
出願日： 2001年06月12日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：
【要約】【課題】 滑り案内を用いたステージ機構において、パッドの浮き上がりやテーブルの歪を防止し、また、パッド磨耗により送りねじや送りナットに歪が生ずることを防止する。【解決手段】 移動テーブルを片側の水平案内面に対し2個所、もう片側の水平案内面に対し1個所で滑り接触させ、1個所で接触する側の水平案内面に近接する垂直案内面に2個所で滑り接触させる。また、送りナットと移動テーブルを横ずれ吸収機構を介して結合する。
請求項（抜粋）：
ベースと移動テーブルを備え,該移動テーブルが、該移動テーブルに備えた3つのパッドにより該ベース上の水平面と滑り接触する試料ステージにおいて、該パッドのうちの2つ、すなわちパッドAとパッドBが、該移動テーブルの移動方向に対し平行に位置するように配列され、該パッドの残りのひとつ、すなわちパッドCに近接した位置に該ベースに固定された垂直滑り案内面を設け、該移動テーブルが、該移動テーブルに備えた別の2つのパッド、すなわちパッドDおよびパッドEにより該垂直滑り案内面に滑り接触することを特徴とする試料ステージ。
IPC (4件)：
H01J 37/20 ,  F16C 29/02 ,  F16H 25/20 ,  F16H 25/24
FI (4件)：
H01J 37/20 D ,  F16C 29/02 ,  F16H 25/20 F ,  F16H 25/24 H
Fターム (20件)：
3J062AA22 ,  3J062AB21 ,  3J062AC07 ,  3J062BA25 ,  3J062CD22 ,  3J062CD35 ,  3J104AA44 ,  3J104AA67 ,  3J104AA69 ,  3J104AA73 ,  3J104BA57 ,  3J104BA67 ,  3J104BA72 ,  3J104DA01 ,  3J104DA11 ,  3J104EA02 ,  3J104EA07 ,  5C001AA03 ,  5C001CC04 ,  5C001DD03
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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