特許
J-GLOBAL ID:200903023625062409

クリーン化装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深見 久郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-332477
公開番号(公開出願番号):特開2000-161735
出願日: 1998年11月24日
公開日(公表日): 2000年06月16日
要約:
【要約】【課題】 クリーン環境を必要とする製造現場に適用されて、製造に関するコストダウンを図るクリーン化装置を提供する。【解決手段】 クリーンを必要とする製造ラインにおいて、ワーク21の搬送通路9内で局所クリーン用HEPAフィルタユニット1を天井面50のうちワーク21を搬送車3と受渡する装置7のワーク搬入/搬出口となるワーク受渡用開口4の上部天井面に設置し、ワーク21受渡時に搬送車3と装置7間の隙間に清浄化された空気が送風される。これにより、隙間がクリーンに保たれ、清浄化された雰囲気下でワーク21の受渡が可能となって、天井面50の全面にHEPAフィルタユニットを設けなくとも、装置7と搬送車3とのワーク受渡を含む搬送時のワーク21のダスト汚染を確実に回避できる。
請求項(抜粋):
クリーン化された内部にワークを収容しながら搬送する搬送装置が通行する搬送路と、ワーク受渡のための受渡開口部が形成されて、前記搬送装置と前記受渡開口部を介して前記ワークを受渡しながら、クリーン化された内部に前記ワークを収容して前記ワークを用いた製造を行うための製造装置とを有した製造ラインに適用される前記製造ラインをクリーンにするためのクリーン化装置であって、前記搬送路において、前記ワーク受渡時に生じる前記製造装置と前記搬送装置との隙間に対応する上部位置には、前記隙間にダウンフローするHEPAフィルタユニットが設けられることを特徴とする、クリーン化装置。
IPC (2件):
F24F 7/06 ,  B65G 49/00
FI (2件):
F24F 7/06 C ,  B65G 49/00 A
Fターム (3件):
3L058BF01 ,  3L058BF07 ,  3L058BF08
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • クリーンルーム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-128221   出願人:株式会社東洋製作所
  • クリーンルーム及びその床材
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-229188   出願人:ソニー株式会社
  • 特開平3-177732
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