特許
J-GLOBAL ID:200903023632191079
非晶質硬質炭素皮膜およびそれを用いた摺動部材
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
村井 卓雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-100725
公開番号(公開出願番号):特開2003-293136
出願日: 2002年04月03日
公開日(公表日): 2003年10月15日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】耐摩耗性に優れるが相手材を摩耗しやすい高Si含有アルミニウム合金に対して優れた摺動特性をもつ非晶質硬質炭素皮膜およびた摺動部材を提供する。【解決手段】CとHを主成分とする非晶質硬質炭素皮膜において、該非晶質硬質炭素皮膜中のH含有量が30〜50at%であり、Hを除いた残りの組成でCが90at%以上であり、Siが5at%未満であり、珪素炭化物を含有する非晶質硬質炭素皮膜。さらに酸素を0.5〜2at%添加すると摩擦係数が安定する。
請求項(抜粋):
炭素と水素を主成分とする非晶質硬質炭素皮膜において、該非晶質硬質炭素皮膜中の水素含有量が30〜50at%であり、水素を除いた残りの組成で炭素が90at%以上であり、珪素が5at%未満であり、珪素炭化物を含有することを特徴とする非晶質硬質炭素皮膜。
IPC (5件):
C23C 16/26
, C23C 14/06
, C23C 14/34
, F16C 33/24
, F16J 9/26
FI (5件):
C23C 16/26
, C23C 14/06 F
, C23C 14/34 N
, F16C 33/24 Z
, F16J 9/26 C
Fターム (26件):
3J011QA04
, 3J011SB12
, 3J011SB13
, 3J011SB14
, 3J011SE02
, 3J044AA02
, 3J044BB19
, 3J044BB28
, 3J044BB30
, 3J044BB33
, 3J044BC06
, 4K029AA02
, 4K029BA02
, 4K029BA07
, 4K029BA17
, 4K029BB02
, 4K029BD04
, 4K029DC39
, 4K029FA01
, 4K030BA27
, 4K030BA28
, 4K030CA02
, 4K030FA01
, 4K030HA04
, 4K030LA01
, 4K030LA23
引用特許:
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