有機薄膜形成装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019292
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223269
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】有機EL表示素子を連続生産でき、熱的に変性しやすい有機材料を用いて再現性のよい有機薄膜を安定して連続的に生産し、量産に適した有機薄膜形成装置を提供する。【解決手段】有機薄膜形成装置は、複数の有機材料を個別に充填する複数のルツボ12を用意し、ルツボのいずれかを選択し、真空室11内で有機材料を蒸発源21の熱で蒸発させ、基板20に蒸着して膜を形成し膜を積層して有機EL表示素子を作る。ルツボと蒸発源は分離して形成されかつルツボは蒸発源に対して着脱自在であり、かつ蒸発源に対してルツボを取り付け、取り外しする搬送機構15を備え、成膜開始前に、搬送機構によって、成膜しようとする膜の厚みに対応する所定量の有機材料34が充填された状態のルツボを蒸発源に取り付けるように構成される。

請求項（抜粋）：

種類の異なる複数の有機材料の各々を個別に充填する複数の蒸発容器を用意し、前記複数の蒸発容器のいずれかを選択し、真空室内で、その中に充填された有機材料を蒸発源の熱で蒸発させ、上方に配置された基板に蒸着して膜を形成し、各種の前記有機材料を用いて前記基板に複数の膜を積層して有機EL表示素子を形成する有機薄膜形成装置において、前記蒸発容器と前記蒸発源は分離して形成されかつ前記蒸発容器は前記蒸発源に対して着脱自在であり、かつ前記蒸発源に対して前記蒸発容器を取り付け、取り外しする蒸発容器搬送機を備え、成膜開始前に、前記蒸発容器搬送機によって、所定量の有機材料が充填された状態の蒸発容器を前記蒸発源に取り付けるようにしたことを特徴とする有機薄膜形成装置。

IPC (3件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , H05B 33/14 A

Fターム (14件)：

3K007AB18 , 3K007DA01 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 4K029AA09 , 4K029BA62 , 4K029BB02 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029DB06 , 4K029DB10 , 4K029DB14 , 4K029DB18

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-173767
特開平3-173767
有機エレクトロルミネッセンス素子及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-289988 出願人：日本真空技術株式会社

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