特許
J-GLOBAL ID:200903023739392077
研磨方法並びに磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤村 康夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-298918
公開番号(公開出願番号):特開2001-162510
出願日: 2000年09月29日
公開日(公表日): 2001年06月19日
要約:
【要約】【課題】 ガラス基板等の内周端面及び外周端面の表面状態を低コストで効率よく高いレベルで平滑にでき、その結果、基板表面の高清浄化を高いレベルで達成磁気記録媒体用ガラス基板ガラス基板等を提供する。【解決手段】 円板状の基板の端面に、遊離砥粒を含有した研磨液を接触させた状態で、研磨ブラシ又は研磨パッドを回転接触させて基板の端面を研磨する研磨方法であって、複数枚の基板1を該基板の主表面方向に例えばスペーサ6等を介して離間して積層して研磨を行うことを特徴とする研磨方法。
請求項(抜粋):
円板状の基板の端面に、研磨ブラシ又は研磨パッドを回転接触させて基板の端面を研磨する研磨方法であって、複数枚の基板を該基板の主表面方向に離間して積層した状態で研磨を行うことを特徴とする研磨方法。
IPC (4件):
B24B 29/04
, C03C 19/00
, G11B 5/73
, G11B 5/84
FI (4件):
B24B 29/04
, C03C 19/00 Z
, G11B 5/73
, G11B 5/84 Z
引用特許: