特許
J-GLOBAL ID:200903023752339045
固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 隆久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-202265
公開番号(公開出願番号):特開2007-019435
出願日: 2005年07月11日
公開日(公表日): 2007年01月25日
要約:
【課題】マイクロレンズと透明保護膜との間の屈折率差を確保し、かつマイクロレンズ同士の隙間をなくすことにより、集光特性を向上した固体撮像装置およびその製造方法、並びに当該固体撮像装置を備えたカメラを提供する。【解決手段】本実施形態に係る固体撮像装置は、基板10に形成された受光部5と、基板10の上層であって受光部5に対応して形成されたマイクロレンズ50と、マイクロレンズ50を被覆し、マイクロレンズ50よりも屈折率の低い透明保護膜60とを有する。マイクロレンズ50は、屈折率調整粒子を含有するレンズ形状の樹脂により形成された第1レンズ層51と、隣接する第1レンズ層51同士の隙間を埋め込むように、第1レンズ層51を被覆して形成された無機系の第2レンズ層52とを有する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
基板に形成された複数の受光部と、
前記基板の上層であって前記各受光部に対応して形成されたマイクロレンズと、
前記マイクロレンズを被覆し、前記マイクロレンズよりも屈折率の低い透明保護膜とを有し、
前記マイクロレンズは、
屈折率調整粒子を含有するレンズ形状の樹脂により形成された第1レンズ層と、
隣接する前記第1レンズ層同士の隙間を埋め込むように、前記第1レンズ層を被覆して形成された無機系の第2レンズ層と
を有する固体撮像装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L27/14 D
, H04N5/335 U
Fターム (28件):
4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA13
, 4M118CA04
, 4M118DA20
, 4M118DB06
, 4M118DB08
, 4M118DD04
, 4M118FA06
, 4M118FA33
, 4M118FA34
, 4M118GB03
, 4M118GB07
, 4M118GC08
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 4M118GD20
, 5C024AX01
, 5C024BX01
, 5C024CX41
, 5C024CY47
, 5C024DX01
, 5C024EX43
, 5C024EX52
, 5C024GX03
, 5C024GX07
, 5C024GY01
, 5C024GY31
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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