ホットプレート型のプロキシミティベーク炉に使用するピン及びそれを使用した炉

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：野河信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-338058
公開番号（公開出願番号）：特開平8-279548
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】ホットプレート型のプロキシミティベーク炉の基板を支持するピンを合成樹脂製にすることにより、ピンにより基板の裏面に傷が発生することを防止する。【構成】ホットプレート型のプロキシミティベーク炉1において、ホットプレート4の均熱板32から上方に突出して複数個設けられ、基板5を支持する頭部8を有し、頭部8に載置される基板5と均熱板3とをプロキシミティベークが可能な距離に保持するプロキシミティピン6,6aが、合成樹脂製である。

請求項（抜粋）：

ホットプレート型のプロキシミティベーク炉に使用され、ホットプレートの加熱面から突出して加熱面に複数個設けられ、基板を支持する頭部を有し、頭部に載置される基板とホットプレートの加熱面とをプロキシミティベークが可能な距離に保持するピンであり、このピンが、合成樹脂製であることを特徴とするホットプレート型のプロキシミティベーク炉に使用するピン。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , G03F 7/38 501 , H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 N , G03F 7/38 501 , H01L 21/30 567

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-137722
板状物保持手段およびそれを用いた装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-199617 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-000736

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