特許

J-GLOBAL ID：200903023890105268

感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者： 富川 真佐夫 ,  吉田 智之 ,  三浦 康男
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-135113
公開番号（公開出願番号）：特開平10-324745
出願日： 1997年05月26日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は、結合手のオルト位に炭素数1〜20までの有機基、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、フッ素原子を有する2価の芳香族を有する有機基を示し、R3は水素、炭素数1から10までのアルキル基より構成され、少なくとも10%以上は水素原子である。nは10から100000までの整数、mは1または2の整数を示す。)

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-204738
  
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-134357   出願人：チッソ株式会社
• 溶媒可溶性ポリイミドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-120764   出願人：株式会社東芝
• 特開昭59-100135