特許
J-GLOBAL ID:200903023919329608
分極反転部の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
細田 益稔 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-113834
公開番号(公開出願番号):特開2003-307757
出願日: 2002年04月16日
公開日(公表日): 2003年10月31日
要約:
【要約】【課題】単分域化している強誘電体単結晶基板の一表面上に設けられた複数の電極片を有する櫛型電極を用いて、電圧印加法により分極反転部を製造するのに際して、基板の表面から深い位置にまで伸びるような分極反転部を形成する新規な方法を提供することである。【解決手段】単分域化している強誘電体単結晶基板1の一表面1a上に設けられた複数の電極片3Aを有する櫛型電極30を用いて、電圧印加法により分極反転部22を製造する方法であって、電極片3Aが、第一電極部44と、この第一電極部44よりも幅の広い第二電極部42とを有し、少なくとも一つの第一電極部44が、少なくとも一つの第二電極部42の電極片3Aにおける先端37側に設けられている。
請求項(抜粋):
単分域化している強誘電体単結晶基板の一表面上に設けられた複数の電極片を有する櫛型電極を用いて、電圧印加法により分極反転部を製造する方法であって、前記電極片が、第一電極部と、この第一電極部よりも幅の広い第二電極部とを有し、少なくとも一つの前記第一電極部が、少なくとも一つの前記第二電極部よりも前記電極片における先端側に設けられていることを特徴とする、分極反転部の製造方法。
Fターム (7件):
2K002AB12
, 2K002BA03
, 2K002CA02
, 2K002CA03
, 2K002FA27
, 2K002GA04
, 2K002HA20
引用特許: