特許
J-GLOBAL ID：200903024008447219
感光性樹脂組成物およびそれを用いるパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-010854
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262728
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【課題】 露光時間を短縮し、カラーフィルターなどの生産性を上げること。【解決手段】 a)有機溶剤に可溶である、重量平均分子量10000以上のポリシラン、b)光ラジカル発生剤および酸化剤、c)シリコーンオイル、およびd)有機溶剤を含む感光性樹脂組成物およびそれを用いるパターン形成方法。
請求項（抜粋）：
a)有機溶剤に可溶である、重量平均分子量10000以上のポリシランb)光ラジカル発生剤および酸化剤c)式:【化1】[式中、R1、R2、R3、R4、R5およびR6は、炭素数1〜10のハロゲンまたはグリシジル基で置換されていてもよい脂肪族炭化水素基、炭素数6〜12のハロゲンで置換されていてもよい芳香族炭化水素基、炭素数1〜8のアルコキシ基からなる群から選択される基であり、同一でも異なっていてもよい。mおよびnは整数であり、m+n≧1を満たすものである。]で示される構造のシリコーンオイルd)有機溶剤を含む感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/075 511
, C25D 13/00 310
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/26 521
G03F 7/075 511
, C25D 13/00 310
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/26 521
