特許

J-GLOBAL ID：200903024014126238

力覚センサ用チップおよび力覚センサ

発明者： 櫻井 伸弘 ,  大里 毅
出願人/特許権者： 本田技研工業株式会社
代理人 (2件)： 磯野 道造 ,  多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-234585
公開番号（公開出願番号）：特開2008-058110
出願日： 2006年08月30日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：

【課題】複数の歪み抵抗素子の特性の均一性を向上させることが可能な力覚センサ用チップを提供する。【解決手段】力覚センサ用チップ2は、減衰装置を介して外力が印加される作用部21と、作用部21を支持する支持部22と、作用部21と支持部22とを連結し、印加された外力に応じてたわむ連結部23と、を備えた半導体基板20と、連結部23に設けられ、連結部23のたわみに基づいて印加された外力を検出する歪み抵抗素子S1,S2,S3,S4,S5,S6,S7,S8と、を備え、歪み抵抗素子S1,S2,S3,S4,S5,S6,S7,S8は、それらの長手方向がすべて同一方向に向けて設けられている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

減衰装置を介して外力が印加される作用部と、当該作用部を支持する支持部と、前記作用部と前記支持部とを連結し、印加された前記外力に応じてたわむ連結部と、を備えたベース部材と、 前記連結部に設けられ、当該連結部のたわみに基づいて印加された前記外力を検出する複数の歪み抵抗素子と、 を備えた力覚センサ用チップであって、 前記複数の歪み抵抗素子は、それらの長手方向がすべて同一方向に向けて設けられていることを特徴とする力覚センサ用チップ。

IPC (1件)：

G01L 5/16

FI (1件)：

G01L5/16

Fターム (4件)：

2F051AA10 ,  2F051AB09 ,  2F051DA03 ,  2F051DB03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 6軸力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-005334   出願人：本田技研工業株式会社
• 6軸力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-059447   出願人：本田技研工業株式会社