6軸力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-005334
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207405
出願日： 2002年01月11日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】他軸干渉を排除し、正確に各軸方向の力及びモーメントを検出することが可能な、ロバスト性及び再現性が向上された6軸力センサを提供する。【解決手段】本発明の6軸力センサ1は、半導体基板2表面に形成される6軸力センサ機能を有するセンサチップで、外力が印加される作用部4と、外部に固定する支持部3と、作用部4の外周に4本配置されており、支持部4に2点で接続される弾性部5Ab,5Bb,5Cb,5Dbと、作用部4に接続される橋梁部5Aa,5Ba,5Ca,5Daとからなる、作用部4及び支持部3を連結する連結部5A,5B,5C,5Dとで形成されており、作用部4または連結部5A,5B,5C,5Dの表面に、印加される外力に相当する歪み量をピエゾ効果により検出する活性層Sで形成される抵抗素子Sya1〜Sya3,抵抗素子Syb1〜Syb3,抵抗素子Sxa1〜Sxa3,抵抗素子Sxb1〜Sxb3が各々配置され、各々の抵抗素子が支持部3の対応するGND電極9及び信号電極10に配線されている

請求項（抜粋）：

半導体基板からなる6軸力センサ機能を有するセンサチップであり、該センサチップが、外力が印加される作用部と、外部構造体に固定される支持部と、前記作用部と前記支持部とを連結する、各々が剛性の高い領域と剛性の低い領域とからなる4本の連結部とから構成され、前記連結部の表面に、活性層で形成された半導体抵抗素子が配置され、各々の半導体抵抗素子が前記支持部に配置された対応する電極に配線されていることを特徴とする6軸力センサ。

Fターム (8件)：

2F051AA10 , 2F051AA21 , 2F051AB10 , 2F051AC01 , 2F051AC04 , 2F051BA07 , 2F051DA03 , 2F051DB03

引用特許：

審査官引用 (7件)

特公昭63-061609
力覚センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-066468 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特公平6-040039

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