特許
J-GLOBAL ID：200903024047064963
形状測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-137053
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329422
出願日： 2002年05月13日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：
【要約】【課題】 干渉光に乱れを生じさせることなくかつ簡易に,被測定物の振動の影響を受けない高精度な形状測定を行うこと。【解決手段】 偏光ビームスプリッタ11(PBS)により照射光をウェハ1の主面1a及び主面側の参照面14aのそれぞれに照射するよう分光するとともに,それらの反射光である測定光と参照光とを重ね合わせた干渉光を,プリズム30等によりウェハ1の裏面側へ導き,その干渉光に含まれる測定光及び参照光それぞれを,裏面側のPBS21によって,ウェハ1の裏面1b及び裏面側の参照面24aそれぞれへ分光し,それらの反射光それぞれを重ね合わせた干渉光を,干渉画像を検出するための受光器40に出射する。
請求項（抜粋）：
所定の光線を被測定物の主面及び該主面側の参照面のそれぞれに照射するよう分岐させる主面側光分岐手段と,前記主面側光分岐手段により分岐された各光線の反射光である測定光及び参照光を重ね合わせた第1の干渉光を出射する第1の干渉光重合手段と,前記第1の干渉光を前記被測定物の裏面側へ導く干渉光導光手段と,前記被測定物の裏面側へ導かれた前記第1の干渉光に含まれる前記測定光及び記参照光のそれぞれを,前記被測定物の主面に対応する裏面及び該裏面側の参照面それぞれに照射するよう分岐させる裏面側光分岐手段と,前記裏面側光分岐手段により分岐された各光線の反射光である測定光及び参照光を重ね合わせた第2の干渉光を所定の干渉光受光手段に出射する第2の干渉光重合手段と,を具備してなることを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (22件)：
2F064AA09
, 2F064BB00
, 2F064EE01
, 2F064EE05
, 2F064EE10
, 2F064GG13
, 2F064GG22
, 2F064GG38
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F065AA30
, 2F065AA55
, 2F065BB01
, 2F065CC19
, 2F065DD02
, 2F065DD14
, 2F065FF51
, 2F065GG04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL36
, 2F065LL46
