有機化合物用蒸発源及びこれを用いた蒸着重合装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-110248
公開番号（公開出願番号）：特開平9-272703
出願日： 1996年04月05日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】有機化合物モノマーの使用効率が高く、しかも基体上において均一な膜厚の高分子薄膜を形成しうる有機化合物用蒸発源及びこれを用いた蒸着重合装置を提供する。【解決手段】処理室2内で基板3上に高分子膜を形成するため、蒸発用容器7、8内に収容した有機化合物モノマーA、Bを加熱しこれを蒸発させる有機化合物モノマー用蒸発源において、蒸発用容器7、8の開口部7a、8aから流出する有機化合物モノマーA、Bの蒸気を周囲に飛散させることなく基板3に導く蒸発制御槽6Aを設ける。蒸発制御槽6Aは、円筒部材11と円筒部材11の基板3側のの開口部を必要に応じて開閉するシャッター13とから構成する。円筒部材11の壁面に加熱用のヒーター12を巻き付ける。

請求項（抜粋）：

真空処理室内で基体上に高分子膜を形成するため、蒸発用容器内に収容した有機化合物モノマーを加熱してこれを蒸発させる有機化合物用蒸発源において、前記蒸発用容器の開口部から流出する前記有機化合物モノマーの蒸気を周囲に飛散させることなく前記基体に導く蒸発制御槽を設けたことを特徴とする有機化合物用蒸発源。

IPC (3件)：

C08F 2/00 MAD , C23C 14/12 , C23C 14/24

FI (3件)：

C08F 2/00 MAD , C23C 14/12 , C23C 14/24 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-080355
特開平4-045259
特公平6-035656

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