カーボンナノチューブを用いたセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲岡耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-028348
公開番号（公開出願番号）：特開2003-227808
出願日： 2002年02月05日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】種々の外部刺激の変化に応じてカーボンナノチューブ(CNT)の電気的特性が変化することを利用したセンサを実用化するための、新規な技術を提供する。【解決手段】絶縁基板1の表面に近接配置した一対の薄膜状の電極部21、22間を、多数のCNT3を介して電気的に接続したセンサS1である。かかるセンサS1においては、CNT3の、光、磁気、圧力、歪み、温度、雰囲気ガスの種類、気圧などの外部刺激の変化に応じた電気的特性の変化を、一対の電極部21、22に検出回路を接続することによって、電気信号として取り出すことができる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板表面に、一対の薄膜状の電極部を、互いに接触しないように近接配置するとともに、当該絶縁基板表面の、両電極部間の領域と、両電極部上のそれぞれ少なくとも一部の領域とを含む範囲に多数のカーボンナノチューブを配設して、両電極部間を、配設したカーボンナノチューブを介して電気的に接続したことを特徴とするセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 , G01N 27/22

FI (2件)：

G01N 27/12 C , G01N 27/22 Z

Fターム (18件)：

2G046AA00 , 2G046BA06 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB08 , 2G046EA01 , 2G046FA02 , 2G046FB00 , 2G046FB02 , 2G046FE00 , 2G046FE09 , 2G046FE12 , 2G046FE25 , 2G060AA01 , 2G060AE40 , 2G060AF10 , 2G060AG01 , 2G060JA10

引用特許：

出願人引用 (5件)

化学センサ及び化学センサの製造方法、並びに検体検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-200367 出願人：ソニーインターナショナル(ヨーロッパ)ゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング, マックスプランクゲッセルシャフトツルフォルデルングデルウィッセンシャフテンエー.ファウ.
気体物質検知方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-025646 出願人：株式会社関西新技術研究所
カーボンナノチューブデバイス
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-545835 出願人：ザボードオブトラスティーズオブザレランドスタンフォードジュニアユニバーシティー

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審査官引用 (5件)

化学センサ及び化学センサの製造方法、並びに検体検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-200367 出願人：ソニーインターナショナル(ヨーロッパ)ゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング, マックスプランクゲッセルシャフトツルフォルデルングデルウィッセンシャフテンエー.ファウ.
気体物質検知方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-025646 出願人：株式会社関西新技術研究所
カーボンナノチューブデバイス
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-545835 出願人：ザボードオブトラスティーズオブザレランドスタンフォードジュニアユニバーシティー

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