ナノ粒子の超臨界流体中分散液を用いる微細配線パターンの形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：金田暢之 , 伊藤克博 , 石橋政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-282790
公開番号（公開出願番号）：特開2004-119790
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】容易に蒸散除去可能な分散媒体を用いた金属ナノ粒子分散液を利用して超ファインなパターン描画後、比較的に低い温度下で、描画された金属ナノ粒子を焼成して、極めて微細な焼結体型配線パターンを形成する方法の提供。【解決手段】微細な配線パターン描画工程において、加圧、加熱下において、超臨界流体中に金属ナノ粒子を分散させ、該超臨界流体を分散媒体とする金属ナノ粒子を含有する分散液に調製し、該分散液をノズルより噴出させて、基板上に塗布層の形成を行うことで、前記超臨界流体である分散媒体は、大気圧下では、速やかに気体状態に変じて、蒸散除去が可能となる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基板上に金属ナノ粒子相互の焼結体層からなる、良導電性の微細な配線パターンを形成する方法であって、平均粒子径を1〜100nmの範囲に選択される、前記金属ナノ粒子を含有する分散液を用いて、前記微細な配線パターンの塗布層を基板上に描画する工程と、前記塗布層中に含まれる、金属ナノ粒子に対して焼成処理を行って、該金属ナノ粒子の焼結体層を形成する工程とを有し、前記微細な配線パターンの描画工程において、加圧、加熱下において、超臨界流体中に前記金属ナノ粒子を分散させ、該超臨界流体を分散媒体とする金属ナノ粒子を含有する分散液に調製し、該分散液をノズルより噴出させて、基板上に塗布層の形成を行うことを特徴とする微細配線パターンの形成方法。

IPC (5件)：

H05K3/10 , B22F7/04 , B22F9/00 , H01B13/00 , H05K3/12

FI (5件)：

H05K3/10 D , B22F7/04 D , B22F9/00 B , H01B13/00 503D , H05K3/12 610B

Fターム (68件)：

4K017AA02 , 4K017BA01 , 4K017BA02 , 4K017BA03 , 4K017BA04 , 4K017BA05 , 4K017BA07 , 4K017BA09 , 4K017BA10 , 4K017BB01 , 4K017BB02 , 4K017BB03 , 4K017BB04 , 4K017BB05 , 4K017BB06 , 4K017BB08 , 4K017BB09 , 4K017CA08 , 4K017DA01 , 4K017EA13 , 4K017EK08 , 4K017FB11 , 4K018AA02 , 4K018AA03 , 4K018AA06 , 4K018AA07 , 4K018AA14 , 4K018AA19 , 4K018AA40 , 4K018AB01 , 4K018BA01 , 4K018BA02 , 4K018BA03 , 4K018BA04 , 4K018BA08 , 4K018BA09 , 4K018BA10 , 4K018BA11 , 4K018BA20 , 4K018BB05 , 4K018BC29 , 4K018CA44 , 4K018DA11 , 4K018JA22 , 4K018JA38 , 4K018KA33 , 5E343AA16 , 5E343AA23 , 5E343BB13 , 5E343BB14 , 5E343BB22 , 5E343BB23 , 5E343BB24 , 5E343BB25 , 5E343BB28 , 5E343BB33 , 5E343BB34 , 5E343BB35 , 5E343BB40 , 5E343BB44 , 5E343BB48 , 5E343BB72 , 5E343DD12 , 5E343EE46 , 5E343ER39 , 5E343GG06 , 5E343GG08 , 5G323CA05

引用特許：

審査官引用 (2件)

配線パターンの形成方法、回路基板の製造方法および遮光パターンの形成された透光体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-326114 出願人：森村ケミカル株式会社
微粒子の製造方法及び膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-312504 出願人：大川原化工機株式会社

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