自動検査システム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鶴若俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-019009
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209137
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】検査ラインを連絡させて自動化することにより、検査工程の省人化及び低コスト化する自動検査システムを提供する。【構成】自動検査システムは、被検査物に対して同じ検査をする検査ユニット40,50からなる複数の検査ユニット群4,5と、この検査ユニット群4,5を連結し被検査物を所定の経路で供給する搬送路20と、被検査物を搬送路20と検査ユニット40,50間を移動させる移動手段8と、検査された被検査物の検査データ及び検査結果を記録する記憶手段と、搬送路20の最終段において検査された被検査物にその検査結果に応じて所定の内容を記録媒体に記録して付する手段16とを備えている。

請求項（抜粋）：

被検査物に対して同じ検査をする検査ユニットからなる複数の検査ユニット群と、この検査ユニット群を連結し前記被検査物を所定の経路で供給する搬送路と、前記被検査物を前記搬送路と前記検査ユニット間を移動させる移動手段と、検査された前記被検査物の検査データ及び検査結果を記録する記憶手段と、前記搬送路の最終段において検査された前記被検査物にその検査結果に応じて所定の内容を記録媒体に記録して付する手段とを備えることを特徴とする自動検査システム。

IPC (2件)：

G01M 11/02 , G01M 11/00

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭59-183351
特開平4-261764
特開平1-311258

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審査官引用 (11件)

検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-038564 出願人：東京エレクトロン株式会社
検査装置の検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-165485 出願人：株式会社不二越
特開昭59-183351

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