特許
J-GLOBAL ID:200903024183784988
光-磁気光学効果測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
岡田 英彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-096887
公開番号(公開出願番号):特開平9-280953
出願日: 1996年04月18日
公開日(公表日): 1997年10月31日
要約:
【要約】【課題】 波長200nm以下での光-磁気光学効果を測定できる装置を実現する。【解決手段】 光源102と、その光源102からの光を分光して必要な波長の光をとりだす分光器120と、その分光器120でとりだされた光を偏光する第1の偏光子150と、試料176に磁場を印加する手段172と、その試料176を透過ないしその試料176で反射した光を通す第2の偏光子156と、その第2の偏光子156を通過した光の強度を検出する光検出器162とを備えた光一磁気光学効果測定装置において、その光源102は重水素ランプを含み、その分光器120はレンズおよび/またはプリズムを含まず、その光源から光検出器に至る光路が容器内に収容され、かつその容器内が酸素を含まない気体に置換されていることを特長とする。上記装置によると、重水素ランプ102から放射される短波長光が高効率に利用でき、信頼できる測定に必要なS/N比を確保することができる。
請求項(抜粋):
光源と、その光源からの光を分光して必要な波長の光をとりだす分光器と、その分光器でとりだされた光を偏光する第1の偏光子と、試料に磁場を印加する手段と、その試料を透過ないしその試料で反射した光を通す第2の偏光子と、その第2の偏光子を通過した光の強度を検出する光検出器とを備えた光-磁気光学効果測定装置において、その光源は重水素ランプを含み、その分光器はレンズおよび/またはプリズムを含まず、その光源から光検出器に至る光路が容器内に収容され、かつその容器内が酸素を含まない気体に置換されていることを特徴とする光-磁気光学効果測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許:
出願人引用 (6件)
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特開昭57-053642
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特開昭61-159120
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紫外線測定用光学系及びその安定性改善方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-321567
出願人:ナノメトリックス・インコーポレイテッド
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微小真空紫外分光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-060441
出願人:日本電気株式会社
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真空紫外域の光学装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-154812
出願人:株式会社ニコン
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特開昭48-025595
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審査官引用 (8件)
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特開昭57-053642
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特開昭57-053642
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特開昭61-159120
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