特許
J-GLOBAL ID:200903024234212747
複合基板及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長門 侃二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-222502
公開番号(公開出願番号):特開2001-053190
出願日: 1999年08月05日
公開日(公表日): 2001年02月23日
要約:
【要約】【課題】 リフトオフ法による電極パターンの加工の際における突起状の不良パターンの発生を抑えた複合基板とその製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に受発光素子13,14,光導波回路12,電極パターン11d〜11fあるいは電子回路を含む搭載品が搭載され、表面に凹凸が存在する複合基板10とその製造方法。複合基板10は、角が丸く形成されたマスクパターンを用い、リフトオフ法によって電極パターン11d〜11fの角が丸く形成されている。
請求項(抜粋):
基板上に受発光素子,光導波回路,電極パターンあるいは電子回路を含む搭載品が搭載され、表面に凹凸が存在する複合基板であって、前記電極パターンは、角が丸く形成されていることを特徴とする複合基板。
IPC (3件):
H01L 23/12
, G02B 6/12
, H05K 1/02
FI (3件):
H01L 23/12 Q
, H05K 1/02 J
, G02B 6/12 Z
Fターム (16件):
2H047KA04
, 2H047KA12
, 2H047MA07
, 2H047PA01
, 2H047PA21
, 2H047PA24
, 2H047QA04
, 2H047QA07
, 2H047TA00
, 5E338AA05
, 5E338BB63
, 5E338BB75
, 5E338CC01
, 5E338CC10
, 5E338CD33
, 5E338EE31
引用特許: