横形拡散炉のプロファイル熱電対

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-073597
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009968
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】高熱による影響が小さく、また分解および組み立てが容易な横形拡散炉のプロファイル熱電対を提供する。【解決手段】複数の合金線12が挿入された保護管16を有する温度感知部10を固定する耐熱性の第1固定管22を有すると共に、この第1固定管22と分離可能であって、温度感知部10の保護管16内の複数の合金線12に接続される複数の延長線30を通す耐熱性の第2固定管24を有する固定部20を設ける。

請求項（抜粋）：

相異なる二種類の金属が接合された複数の合金線が挿入された保護管を有する温度感知部と、この温度感知部の保護管内の複数の合金線を保護管の外部へ引き出すための複数の延長線と、前記温度感知部を固定する耐熱性の第1固定管を有すると共にこの第1固定管と分離可能であって、前記温度感知部の保護管内の複数の合金線に接続される前記複数の延長線を通す耐熱性の第2固定管を有する固定部と、を具備していることを特徴とする横形拡散炉のプロファイル熱電対。

IPC (2件)：

G01K 7/02 , G01K 1/08

FI (2件)：

G01K 7/02 A , G01K 1/08 P

引用特許：

審査官引用 (4件)

真空熱処理炉用温度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-082401 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社, 日本フエンオール株式会社
特開平4-242130
特開昭58-048825

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