特許
J-GLOBAL ID：200903024260903103
スタンパ及び転写装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-093091
公開番号（公開出願番号）：特開2004-299153
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】スタンパ表面の凸部の分布や基板のうねりに影響されずにスタンパの形状を精密に被転写物に転写することのできるスタンパ、及びこのスタンパを用いる転写装置を提供する。【解決手段】スタンパ表面の凸部の分布や基板のうねりに影響されない精密な転写はスタンパ背面に弾性率分布を持つ緩衝材を形成したスタンパを使用することにより解決することができる。プレス装置を用いて基板上に微細構造体を形成するための表面に微細な凹凸が形成されたスタンパにおいて、前記スタンパは可撓性を有し、凹凸形成面の裏面に弾性率に面内分布を持つ緩衝材を形成していることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面に微細な凹凸が形成されたスタンパ層と、前記スタンパ層の凹凸が形成されていない側の面に配置された緩衝材とを有し、前記緩衝材が、面内で異なる弾性率を有していることを特徴とするスタンパ。
IPC (4件)：
B29C33/38
, B29C43/10
, B29C43/18
, G11B5/84
B29C33/38
, B29C43/10
, B29C43/18
, G11B5/84 Z
4F202AF01
, 4F202AJ05
, 4F202AJ09
, 4F202CA09
, 4F202CD05
, 4F202CD23
, 4F202CK43
, 4F204AA21
, 4F204AG01
, 4F204AG05
, 4F204AH79
, 4F204AJ03
, 4F204FB01
, 4F204FB11
, 4F204FF01
, 4F204FF05
, 4F204FN01
, 4F204FQ15
, 4F204FQ17
, 5D112AA02
, 5D112BA03
, 5D112BA06
, 5D112BA10
