特許
J-GLOBAL ID:200903024270117238

基板搬送容器および基板搬送容器内空間のガス置換方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-097082
公開番号(公開出願番号):特開2007-273697
出願日: 2006年03月31日
公開日(公表日): 2007年10月18日
要約:
【課題】基板搬送容器内空間のガス置換を満遍なく、また効率よく行うことができる基板搬送容器、および基板搬送容器内空間のガス置換を満遍なく、また効率よく行い得る方法を提供する。【解決手段】一側面に開口部3が設けられ且つ複数枚の基板を夫々独立に収容できる基板支持手段4を有する容器本体1と、容器本体1に3開口部を閉塞可能にかつ開閉自在に取り付けられる蓋体2とを有する基板搬送容器であって、蓋体2には、容器外部から不活性ガスを導入するためのガス導入口11と、ガス導入口11から導入された不活性ガスを容器内に収容される基板間の空間に噴出可能に設けられてなるガス供給ノズルと、容器内のガスを容器外に排出するためのガス排出口12とが設けられている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
一側面に開口部が設けられ且つ複数枚の基板を夫々独立に収容できる基板支持手段を有する容器本体と、該容器本体に該開口部を閉塞可能にかつ開閉自在に取り付けられる蓋体とを有する基板搬送容器であって、該蓋体には、前記容器外部から不活性ガスを導入するためのガス導入口と、該ガス導入口から導入された不活性ガスを該容器内に収容される基板間の空間に噴出可能に設けられてなるガス供給ノズルと、前記容器内のガスを該容器外に排出するためのガス排出口とが設けられていることを特徴とする基板搬送容器。
IPC (1件):
H01L 21/673
FI (1件):
H01L21/68 T
Fターム (12件):
5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA11 ,  5F031EA12 ,  5F031EA19 ,  5F031NA04 ,  5F031NA11 ,  5F031NA16 ,  5F031PA24
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (6件)
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