特許

J-GLOBAL ID：200903024370644669

光電変換装置

発明者： 白玖 久雄 ,  中川 誠 ,  武田 勝利
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012138
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209481
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 光学的特性及び耐候性の向上を図る光電変換素子用反射防止膜を提供すること。【解決手段】 光電変換素子1の光入射側に半透明樹脂5を介してガラス4が形成され、そのガラス4の上にMgF2 の反射防止膜7が形成される。この反射防止膜7は、フッ素原子が打ち込まれてアモルファス化されている。このため、反射防止膜7の屈折率が調節(低減)され、反射防止膜7の反射防止特性が向上するので、光電変換素子1の光の取込み効率の向上を図ることができる。また、反射防止膜7のフッ素原子の含有率が増大するので、疎水性及び耐酸性が向上し、屋外に対する耐候性の向上を図ることができる。

請求項（抜粋）：

光入射側に反射防止膜を備えた光電変換装置であって、前記反射防止膜の少なくとも表面部がアモルファス化されていることを特徴とする光電変換装置。

IPC (2件)：

H01L 31/04 ,  C23C 14/08

FI (3件)：

H01L 31/04 B ,  C23C 14/08 A ,  C23C 14/08 G

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-044477
  
• 太陽電池の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-271377   出願人：沖電気工業株式会社
• フッ化物薄膜の製造方法およびこれによって製造されたフッ化物薄膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-307224   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平2-000901