金属間化合物含有ターゲット、およびこれを用いた硬質被覆部材の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-171134
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006056
出願日： 1997年06月12日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】 (Ti,Al)化合物の被膜を被覆するために従来のターゲットを蒸発源として用いた場合に、被膜にマイクロパーティクルを発生しやすく、被膜の不均一性,低硬度性および易剥離性の傾向を示し、短寿命になるという問題がある。【解決手段】チタンとアルミニウムとの金属間化合物が30原子%以上と、残部がチタン元素とアルミニウム元素と不可避不純物とからなることを特徴とする金属間化合物含有ターゲット。

請求項（抜粋）：

チタンとアルミニウムとの金属間化合物が30原子%以上と、残部がチタン元素とアルミニウム元素と不可避不純物とからなることを特徴とする金属間化合物含有ターゲット。

IPC (3件)：

C23C 14/32 , C23C 14/02 , C23C 14/06

FI (3件)：

C23C 14/32 A , C23C 14/02 Z , C23C 14/06 P

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平4-072063
特公平4-053642
耐摩耗性のすぐれた表面被覆スローアウェイチップ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-199169 出願人：三菱マテリアル株式会社

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