特許
J-GLOBAL ID：200903024404470347

露光装置

発明者：
鈴木 昭夫

鈴木 昭夫 について


出願人/特許権者：
株式会社オーク製作所

株式会社オーク製作所 について


代理人 (1件)： 役 昌明 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140645
公開番号（公開出願番号）：特開2000-330293
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 フライアイ・レンズおよびコリメータ・ミラーを用いた露光装置において、照射領域における照度分布を均一化すること。【解決手段】 照射光を放射する光源1と、この光源1から放射された光線を集束させる光学系2と、集束された光線を平行光線に変換するコリメータ・レンズ4と、変換された平行光線より多数の光源像を形成するフライアイ・レンズ5と、多数の光源像からの光線を重畳して照射領域8へ光軸を外して反射させるコリメータ・ミラー7とを備えた露光装置において、フライアイ・レンズ5の主光軸を平行光線の光軸に対して角度を偏倚させたものである。
請求項（抜粋）：
照射光を放射する光源と、該光源から放射された光線を集束させる光学系と、該集束された光線を平行光線に変換するコリメータ・レンズと、変換された平行光線より多数の光源像を形成するフライアイ・レンズと、多数の光源像からの光線を重畳して照射領域へ光軸を外して反射させるコリメータ・ミラーとを備えた露光装置において、上記フライアイ・レンズの主光軸を上記平行光線の光軸に対して角度を偏倚させたことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 527
Fターム (8件)：
2H097BB01 ,  2H097BB03 ,  2H097LA12 ,  5F046CB03 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23
引用特許：
審査官引用 (3件)

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