特許

J-GLOBAL ID：200903024408004804

研磨用粒子および研磨材

発明者： 西田 広泰 ,  田熊 祐一郎 ,  中山 和洋 ,  小松 通郎
出願人/特許権者： 触媒化成工業株式会社
代理人 (1件)： 石田 政久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-331748
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133267
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】 ディッシング(過研磨)を抑制し、基板表面を平坦に研磨することができる。【解決手段】 異形粒子群とは、1次粒子が集合して球状となったり、または凝集して塊状となった通常の形態の粒子群ではなく、2個以上の1次粒子が結合して鎖状、繊維状、その他、異形の形態にある粒子群をいう。即ち、異形粒子群1個が平面(被研磨基板)と2点以上の点で接触できるか、線または面で接触できる粒子群を意味している。この異形粒子群における1次粒子の結合態様として、図示したように、1次粒子が2個接合したもの、3個以上鎖状に接合したもの、3個が3点で接合したもの、4個が平面的にあるいはテトラポット型に接合したもの、同様に5個以上の粒子が接合したものを挙げることができる。

請求項（抜粋）：

平均粒子径が5〜300nmの範囲にある1次粒子が2個以上結合した異形粒子群を含むことを特徴とする研磨用粒子。

IPC (3件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00 ,  C09K 3/14 550

FI (3件)：

H01L 21/304 622 D ,  B24B 37/00 H ,  C09K 3/14 550 D

Fターム (4件)：

3C058AA07 ,  3C058CB01 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 研磨用組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-188562   出願人：日産化学工業株式会社
• 繭型コロイダルシリカの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-227066   出願人：磯守