特許
J-GLOBAL ID：200903024409488864

磁気浮上式ステージ装置及び露光装置

発明者：
田中 慶一

田中 慶一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-308450
公開番号（公開出願番号）：特開2005-079368
出願日： 2003年09月01日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【課題】 真空度の悪化の可能性を低減できる、あるいは、高速・高加速を実現してスループットを向上できる等の利点を有する磁気浮上式ステージ装置等を提供する。【解決手段】 ガイド31、33の内側上下面には永久磁石60が配置されており、ガイド31の内側上下面には永久磁石65が配置されている。ステージ40のY、θz駆動用コイルは、コイルユニット45のコイル群71bとコイルユニット47のコイル群81aであり、ステージ40のZ、θx、θy駆動用コイルは、コイルユニット45のコイル群71aとコイルユニット47のコイル群81bであり、ステージ40のX駆動用コイルは、コイルユニット45のコイル75である。このような磁気浮上機構により、ステージ40の駆動及び浮上を兼ね備えるステージガイド機構が実現できるとともに、ステージのX、Y、Z、θx、θy、θzの6軸制御が実現できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ステージを浮上させながら主走査方向(Y方向)に移動・位置決めするステージ装置であって、 前記Y方向に並行して延びる2本のガイドと、 該ガイドの各々に配列された、Y方向駆動用リニアモータ、及び、浮上用(Z方向駆動用)電磁アクチュエータ兼用の主固定子と、 前記ステージに配置されたY方向駆動用リニアモータ可動子(Y可動子)と、 前記ステージに配置された浮上用アクチュエータ可動子(Z可動子)と、 を備え、 前記主固定子が、前記Z方向に可動子移動スキマを介して対面しており且つ前記Y方向に沿って配列されている、前記対面する同士及び前記Y方向に隣り合う同士も逆極性の、磁石又は電機子コイルのペアの列を有し、 前記Y可動子が、前記主固定子の対面する磁石又は電機子コイルとのローレンツ電磁力の作用により前記Y方向に駆動される電機子コイル又は磁石を有し、 前記Z可動子が、前記主固定子の磁石又は電機子コイルとのローレンツ電磁力の作用により前記Z方向に駆動される電機子コイル又は磁石を有することを特徴とする磁気浮上式ステージ装置。
IPC (5件)：
H01L21/68 ,  G03F7/22 ,  H01L21/027 ,  H02K41/02 ,  H02K41/03
FI (5件)：
H01L21/68 K ,  G03F7/22 H ,  H02K41/02 C ,  H02K41/03 A ,  H01L21/30 503A
Fターム (26件)：
5F031CA07 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031JA02 ,  5F031JA17 ,  5F031JA19 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031LA10 ,  5F031MA27 ,  5F046BA05 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046GA03 ,  5F046GA08 ,  5F046GA12 ,  5H641BB06 ,  5H641GG03 ,  5H641GG07 ,  5H641HH02 ,  5H641JA07 ,  5H641JA13 ,  5H641JA14 ,  5H641JB02
引用特許：
審査官引用 (5件)
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