マイクロ波プラズマ発生装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井ノ口壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-339098
公開番号（公開出願番号）：特開2004-172044
出願日： 2002年11月22日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】大気圧(またはそれに近い気圧)で動作する低温のプラズマを安定して、しかも小形の装置で発生させることができるマイクロ波プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】本発明によるマイクロ波プラズマ発生装置は、大気圧に近いガスをマイクロ波で励起させプラズマガスを発生するマイクロ波プラズマ発生装置である。同軸形共振キャビティ102は、キャビティの長さが励振波長の1/2の整数倍であり、中心導体205,208を前記長さより短くし、前記中心導体205,208の中心にそってガス流路用の非金属パイプ103を配置し、一方端から注入されたガスが前記非金属パイプが前記中心導体で覆われていないギャップでマイクロ波により励起され他方端からプラズマ化して放出する。前記キャビティはマイクロ波供給回路で励振される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

大気圧に近いガスをマイクロ波で励起させプラズマガスを発生するマイクロ波プラズマ発生装置であって、キャビティの長さが励振波長の1/2の整数倍であり、中心導体を前記長さより短くし、前記中心導体中心にそってガス流路用の非金属パイプを配置し、一方端から注入されたガスが、前記非金属パイプが前記中心導体で覆われていないギャップGで、マイクロ波により励起され他方端からプラズマ化して放出されるようにした同軸形共振キャビティと、および前記キャビティを励振するマイクロ波供給回路と、から構成したマイクロ波プラズマ発生装置。

IPC (2件)：

H05H1/30 , H05B7/18

FI (2件)：

H05H1/30 , H05B7/18 E

Fターム (8件)：

3K084AA07 , 4G075AA22 , 4G075BB10 , 4G075BC06 , 4G075CA26 , 4G075CA48 , 4G075DA01 , 4G075FB06

引用特許：

審査官引用 (7件)

プラズマ生成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-174356 出願人：三菱重工業株式会社
プラズマ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-180007 出願人：大槻義彦
マイクロ波プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-131342 出願人：株式会社ダイヘン

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