ホール効果を用いる磁気センサ及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：石原昌典 , 石原孝志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-328470
公開番号（公開出願番号）：特開2004-165362
出願日： 2002年11月12日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】小型化、高感度化、低コスト化に優れ、且つ容易に作成可能であり、3軸磁気センサにも容易に応用でき、様々な用途に利用可能な磁気センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のホール効果を用いる磁気センサは、可撓性を有するフレキシブル基板と、前記フレキシブル基板上に堆積されるBi(ビスマス)からなるホール素子とを具備する。また、BiにSb(アンチモン)、Sn(スズ)又はSi(シリコン)の何れかをドープすることで、磁気センサのリニアリティを補償することが可能となる。フレキシブル基板上にホール素子を3つ作成し、フレキシブル基板を折り曲げることで、XYZ軸方向の磁界を検出できるように構成することで、3軸磁気センサとすることも可能である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ホール効果を用いる磁気センサであって、該センサは、可撓性を有するフレキシブル基板と、前記フレキシブル基板上に堆積される、Biからなるホール素子と、を具備することを特徴とする磁気センサ。

IPC (4件)：

H01L43/06 , H01L43/04 , H01L43/10 , H01L43/14

FI (4件)：

H01L43/06 M , H01L43/04 , H01L43/10 , H01L43/14

引用特許：

審査官引用 (7件)

センサ素子の三次元配置構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045441 出願人：セイコー電子工業株式会社
磁界センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-092854 出願人：ティーディーケイ株式会社
特開昭55-028563

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