リニアモータ電機子およびリニアモータ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-367067
公開番号（公開出願番号）：特開2003-169461
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】従来の不活性冷媒を使用しつつ、冷媒流路に改良を加えることにより、キャンの変形を防止し、リニアモータの温度上昇を大幅に低減することができる冷却能力の高いリニアモータ電機子およびリニアモータを提供する。【解決手段】リニアモータにおいて、キャンを内側キャン2と外側キャン3とからなる2層構造とし、各々のキャンにより、電機子巻線9と内側キャン2の間に形成される内側流路7と、内側キャン2と外側キャン3の間に形成される外側流路8とを構成する。各々のキャン2、3における冷媒供給口5の近傍には、冷媒供給口5から供給された冷媒が内側流路7と外側流路8とに分岐して流れるように、内側流路7と外側流路8とを連通する連通部7A、8Aが設けられる。

請求項（抜粋）：

電機子巻線と、前記電機子巻線を覆うように設けられたキャンとを備え、前記電機子巻線の周囲に冷媒を流して冷却するようにしたリニアモータ電機子であって、前記キャンは、内側キャンと外側キャンとからなる2層構造で構成されると共に、前記電機子巻線と前記内側キャンの間に形成される内側流路と、前記内側キャンと前記外側キャンの間に形成される外側流路とを備えており、前記キャンの両端部は、一方端が冷媒供給口となり、他方端が冷媒排出口となるように配設されたヘッダを有しており、前記キャンの冷媒供給口近傍には、前記冷媒供給口から供給された冷媒が前記内側流路と前記外側流路とに分岐して流れるように、前記内側流路と前記外側流路とを連通する連通部を設けてあることを特徴とするリニアモータ電機子。

IPC (4件)：

H02K 41/02 , H01L 21/027 , H02K 9/19 , H02K 41/03

FI (4件)：

H02K 41/02 Z , H02K 9/19 Z , H02K 41/03 A , H01L 21/30 503 B

Fターム (22件)：

5F046CC03 , 5F046CC18 , 5F046DA26 , 5H609BB08 , 5H609PP02 , 5H609PP04 , 5H609PP06 , 5H609PP08 , 5H609PP09 , 5H609QQ08 , 5H609QQ10 , 5H609QQ13 , 5H609RR26 , 5H641BB03 , 5H641BB06 , 5H641BB14 , 5H641BB19 , 5H641GG02 , 5H641GG05 , 5H641GG07 , 5H641HH03 , 5H641JB04

引用特許：

審査官引用 (2件)

リニアモータ用のコイルユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-090981 出願人：住友重機械工業株式会社
リニア・モーター及びそのための流体循環システム並びに露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-357066 出願人：株式会社ニコン

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