特許
J-GLOBAL ID：200903024530769552

蒸着工程用ノズル蒸発源及び蒸着方法

発明者：
ジョン・クワン-ホー

ジョン・クワン-ホー について


出願人/特許権者：
ワイエイエス・カンパニー、リミテッド

ワイエイエス・カンパニー、リミテッド について


代理人 (2件)： 木下 洋平 ,  桑原 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-066639
公開番号（公開出願番号）：特開2005-256036
出願日： 2004年03月10日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】蒸着工程用ノズル蒸発源において、特に、大面積の基板の製造時に基板に蒸着される物質層の厚さの均一性を向上させ、物質の蒸着率が時間の経過に伴って急激に減少することを防止し、蒸着物質の利用率を向上させるための蒸着工程用ノズル蒸発源を提供すること。【解決手段】蒸着工程用ノズル蒸発源は、化学物質の蒸発方向を決定する円錐状に配列されたノズル11が設けられた挿入部10と、上方が開口した円筒状に設けられ、上側に挿入部10を挿入可能にする係止段が設けられた炉20と、炉20の外側に位置し、炉20を加熱するためのフィラメント30と、フィラメント30の外側に位置し、熱損失を最小化するための反射板40と、炉20の内側に挿入され、フィラメント30による熱が炉20の内側まで伝達されるようにするための熱伝導部50とを具える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
化学物質の蒸発方向を決定するものであり、垂直方向に下側と貫通する複数の蒸発管が内側に設けられ、該蒸発管と連結され、上側の外周に沿って円錐状に配列されたノズルが設けられている挿入部と、 上方が開口した円筒状に設けられ、上側に前記挿入部を挿入可能にする係止段が設けられた炉と、 前記炉の外側に位置し、炉を加熱するためのフィラメントとを具えることを特徴とする、 蒸着工程用ノズル蒸発源。
IPC (1件)：
C23C14/24
FI (1件)：
C23C14/24 A
Fターム (6件)：
4K029AA24 ,  4K029BD01 ,  4K029CA15 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB18
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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