特許
J-GLOBAL ID：200903028748450197
有機化合物用の容器、及び有機薄膜製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-191950
公開番号（公開出願番号）：特開2000-017425
出願日： 1998年07月07日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：
【要約】【課題】大口径基板に均一な有機薄膜を形成できる技術を提供する。【解決手段】有機薄膜材料を収容する容器10に、該容器10の中央から外方に向けて傾斜された有底の収容孔221〜224を複数設ける。発生した有機薄膜材料の蒸気が各収容孔10内を流れる間に、容器10の外方に向かう指向性が付与され、真空槽内に均一に放出される。このとき、真空槽内に気体を導入し、1.33×10-4Pa以上6.65×10-2Pa以下の所定の圧力にしておくと、真空槽内に放出された蒸気が気体分子と衝突し、散乱するので、より大口径の基板に均一な有機薄膜を形成することが可能になる。
請求項（抜粋）：
有機薄膜材料を収容可能な有底の収容孔を複数有する容器であって、前記各収容孔内で前記有機薄膜材料の蒸気を発生させたときに、前記各収容孔内で前記蒸気が流れる部分は、前記容器中央から外方に向けて傾斜されていることを特徴とする容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/24 A
, C23C 14/12
4K029BA62
, 4K029BD01
, 4K029CA01
, 4K029DA06
, 4K029DB06
, 4K029DB12
, 4K029DB13
, 4K029DB18
, 4K029EA03
, 4K029EA07
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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