ダイシング装置のスピンドル移動機構

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-330539
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162886
出願日： 1997年12月01日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】2本のスピンドルを回転させて2枚のブレードでウェーハを切断するダイシング装置において、簡単でコンパクトなスピンドル移動機構を提供する。【解決手段】本発明のスピンドル移動機構は、スピンドル64、66が搭載された2台のキャリッジ72、74をY軸方向に移動自在にガイドするガイドレール90、92、及びキャリッジ72、74をY軸方向に移動させるリニアモータ76を主な構成としている。リニアモータ76は、マグネットレール78、及び2個のマグネットブロック80、82から構成される。マグネットレール78は支持プレート84に固定され、マグネットブロック80はキャリッジ72に固定され、マグネットブロック82はキャリッジ74に固定される。リニアモータを駆動すると、キャリッジ72、74は、共通のガイドレール90、92に沿ってY軸方向に移動する。

請求項（抜粋）：

2本のスピンドルをY軸方向に配置し、該2本のスピンドルとワークとをX軸方向に相対的に移動させながら、2本のスピンドルに装着された2枚のブレードを回転させて前記ワークを切断線に沿って切断すると共に、前記2本のスピンドルをY軸方向に所定ピッチ移動させて前記ワークを次の切断線に沿って切断するダイシング装置のスピンドル移動機構において、前記スピンドル移動機構は、前記2本のスピンドルが独立して取り付けられた2台のキャリッジと、前記2台のキャリッジをY軸方向に移動自在にガイドする1つのガイド部材と、前記2台のキャリッジに各々設けられ、前記ガイド部材に沿って各キャリッジをY軸方向に移動させる移動手段と、から成ることを特徴とするダイシング装置のスピンドル移動機構。

引用特許：

審査官引用 (10件)

切削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-186861 出願人：株式会社ディスコ
特開平4-175549
寸法測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-247687 出願人：株式会社東京精密

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