特許
J-GLOBAL ID:200903024582227782

表面特性を特定する装置および方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-156763
公開番号(公開出願番号):特開2004-354381
出願日: 2004年05月26日
公開日(公表日): 2004年12月16日
要約:
【課題】 表面特性が評価でき、観察者と観察される表面との距離によって生じる印象もシミュレーションされるような方法および装置を提供する。【解決手段】 第1の段階で少なくとも1つの光線放射装置の所定の光線を測定面に当て、次の段階で測定面が反射させる光線が、複数の撮像素子を有する検出装置によって特定され、撮像素子によって検出された光線の少なくとも1つのパラメータを表す複数の信号が生成される。次に所定の基準による第1の信号がグループ信号に統合され、少なくとも1つのグループ固有の評価数値が計算されるとともに、測定面の少なくとも1つの拡散反射特性と相関し、前記評価数値に依存する統計パラメータが特定される。こうして第1の信号を統合するために設定された基準に従って少なくとも1つの統計パラメータが出力される。このとき異なる基準でとらえた少なくとも2つの統計パラメータ間の関係によって表面特性が特定される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
表面特性を特定する方法であって、 少なくとも1つの光線放射装置の所定の光線を測定面に当てる段階と、 前記測定面が反射及び/又は散乱する光線を複数の撮像素子を有する検出装置によって検出する段階と、 前記撮像素子によって検出された光線の少なくとも1つのパラメータを表す信号を生成する段階と、 少なくとも2つの異なる設定基準に従って前記第1の信号を少なくとも2つのグループ信号に統合する段階と、 少なくとも1つのグループ固有の評価数値を計算するとともに、測定面の少なくとも1つの拡散反射特性と相関し、前記評価数値に依存する少なくとも1つの統計パラメータを計算する段階と、 前記第1の信号を統合するための設定基準に応じて前記少なくとも1つの統計パラメータを出力する段階と、を有する方法において、 前記表面特性は、異なる基準を有する少なくとも2つの統計パラメータの間の関係によって表されることを特徴とする方法。
IPC (1件):
G01N21/84
FI (1件):
G01N21/84 Z
Fターム (11件):
2G051AA89 ,  2G051AB12 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC15 ,  2G051EC03
引用特許:
審査官引用 (7件)
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