走査トンネル顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-076830
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289035
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】スピンSTM用探針の先端部で光の散乱がなく、かつ探針先端のトンネル部と光照射部を分離出来、空間分解能の高い走査トンネル顕微鏡を提供するにある。【構成】試料13の表面に近接して配置される探針3と、その探針3の先端部付近に光を照射する励起光照射手段4と、前記探針3と試料13とを相対的に移動する移動手段2と、前記試料13に流れるトンネル電流を検出する検出手段21とを備え、前記探針3の先端部付近に光を照射し、その探針3の伝導帯に励起された電子がトンネル効果により試料13に流れ込み、前記移動手段2によって探針3と試料13とを相対的に移動させながら試料13のトンネル電流の変化を前記検出手段21で検出して、当該試料13表面の磁気的特性を観察する走査トンネル顕微鏡において、前記探針2の少なくとも前記光が照射される面16が平坦面になっていることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

試料の表面に近接して配置される探針と、その探針の先端部付近に光を照射する励起光照射手段と、前記探針と試料とを相対的に移動する移動手段と、前記試料に流れるトンネル電流を検出する検出手段とを備え、前記探針の先端部付近に光を照射し、その探針の伝導帯に励起した電子がトンネル効果により試料に流れ込み、前記移動手段によって探針と試料とを相対的に移動させながら試料のトンネル電流の変化を前記検出手段で検出して、当該試料表面の磁気的特性を観察する走査トンネル顕微鏡において、前記探針の少なくとも前記光が照射される面が平坦面になっていることを特徴とする走査トンネル顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 , H01J 37/28

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平4-036946
特開昭63-055845
特開昭62-139240

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審査官引用 (6件)

特開平4-036946
特開昭62-139240
特開昭63-055845

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