特許
J-GLOBAL ID：200903024807157690

荷電粒子線露光装置

発明者：
小島 義克

小島 義克 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 尾身 祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290591
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126739
出願日： 1997年10月23日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【目的】 試料台および/またはウェハが帯電すると、ウェハの試料台への搬入時にウェハの吸着により正確な位置決めが不可能となる不都合を回避する。【構成】 試料台11には上下動可能な押し上げピン14が備えられている。ウェハ12の搬入に先立って押し上げピン14を持ち上げておく。ウェハ12を搬入し押し上げピン上に載置する。ウェハ12を位置決めピン13に押し当ててウェハの位置決めを行う。位置決め後、押し上げピン14を押し下げ、ウェハ12を試料台11上に載せる。高圧電源16より静電チャック電極15に高電圧を印加してウェハを試料台に吸着する。その状態で電子線露光を行う。
請求項（抜粋）：
内部に試料固定手段としての静電チャックを有する試料台と、試料を前記試料台上に位置決めする位置決め手段とを有する荷電粒子線露光装置において、試料を前記試料台表面と平行な状態に保持し、かつ、その状態でこれを試料台表面の法線方向に移動させることが可能な試料移動機構が備えられていることを特徴とする荷電粒子線露光装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/305
FI (5件)：
H01L 21/30 541 L ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 H ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/305 B
引用特許：
審査官引用 (5件)
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