特許

J-GLOBAL ID：200903044770673154

静電チャックおよびその使用方法

発明者： 森田 整尚 ,  奥村 信夫 ,  中西 敏雄
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182836
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236604
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【構成】イジェクターピンとイジェクターピンを昇降する手段との間に、個々のイジェクターピンの昇降緩衝機構を備えたことを特徴とする静電チャック。【効果】イジェクターピンの位置の制御を容易にすることができ、ウエハの吸着および脱離を確実に速やかに行うことができる。また、イジェクターピンを確実にウエハの裏面に接触させて、ウエハ裏面とイジェクターピンとの隙間での放電に起因する種々の問題を解決することができる。

請求項（抜粋）：

イジェクターピンとイジェクターピンを昇降する手段とイジェクターピンを接地する手段とを備えた静電チャックにおいて、イジェクターピンとイジェクターピンを昇降する手段との間に、個々のイジェクターピンの昇降緩衝機構を備えたことを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  B23Q 3/15

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/205 ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電吸着体の離脱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-139157   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 静電チャック装置における基板の脱着方法および脱着機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-146487   出願人：日電アネルバ株式会社