特許
J-GLOBAL ID:200903024818632373
BN-AlN系複合焼結体の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-293773
公開番号(公開出願番号):特開2005-060178
出願日: 2003年08月15日
公開日(公表日): 2005年03月10日
要約:
【課題】灰白色部の少ない、色ムラ発生領域の少ないBN-AlN系複合焼結体を容易に製造すること。【解決手段】窒化硼素、窒化アルミニウム及びアルミニウムを含有する焼結用混合粉末Aを、その周囲に、該焼結用混合粉末Aよりもアルミニウム含有量の多い上記成分を含有する混合粉末Bを配してダイスに充填し、ホットプレス焼結をすることを特徴とするBN-AlN系複合焼結体の製造方法。この場合において、混合粉末Bのアルミニウム含有量が6〜25質量%であり、焼結用混合粉末Aのアルミニウム含有量よりも3質量%以上多いことが好ましい。また、混合粉末Bを配する厚みが5〜20mmであることが好ましい。さらには、ホットプレス焼結を、温度1700〜2300°C、圧力5〜40MPaで行うことが好ましい。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
窒化硼素、窒化アルミニウム及びアルミニウムを含有する焼結用混合粉末Aを、その周囲に、該焼結用混合粉末Aよりもアルミニウム含有量の多い上記成分を含有する混合粉末Bを配してダイスに充填し、ホットプレス焼結をすることを特徴とするBN-AlN系複合焼結体の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
C04B35/58 104N
, H01L23/12 D
Fターム (16件):
4G001BA33
, 4G001BA36
, 4G001BA63
, 4G001BB33
, 4G001BB36
, 4G001BB63
, 4G001BC22
, 4G001BC42
, 4G001BC52
, 4G001BC54
, 4G001BD03
, 4G001BD04
, 4G001BD13
, 4G001BD23
, 4G001BD37
, 4G001BE15
引用特許: