BN-AlN系複合焼結体の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-293773
公開番号（公開出願番号）：特開2005-060178
出願日： 2003年08月15日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】灰白色部の少ない、色ムラ発生領域の少ないBN-AlN系複合焼結体を容易に製造すること。【解決手段】窒化硼素、窒化アルミニウム及びアルミニウムを含有する焼結用混合粉末Aを、その周囲に、該焼結用混合粉末Aよりもアルミニウム含有量の多い上記成分を含有する混合粉末Bを配してダイスに充填し、ホットプレス焼結をすることを特徴とするBN-AlN系複合焼結体の製造方法。この場合において、混合粉末Bのアルミニウム含有量が6〜25質量%であり、焼結用混合粉末Aのアルミニウム含有量よりも3質量%以上多いことが好ましい。また、混合粉末Bを配する厚みが5〜20mmであることが好ましい。さらには、ホットプレス焼結を、温度1700〜2300°C、圧力5〜40MPaで行うことが好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

窒化硼素、窒化アルミニウム及びアルミニウムを含有する焼結用混合粉末Aを、その周囲に、該焼結用混合粉末Aよりもアルミニウム含有量の多い上記成分を含有する混合粉末Bを配してダイスに充填し、ホットプレス焼結をすることを特徴とするBN-AlN系複合焼結体の製造方法。

IPC (2件)：

C04B35/581 , H01L23/12

FI (2件)：

C04B35/58 104N , H01L23/12 D

Fターム (16件)：

4G001BA33 , 4G001BA36 , 4G001BA63 , 4G001BB33 , 4G001BB36 , 4G001BB63 , 4G001BC22 , 4G001BC42 , 4G001BC52 , 4G001BC54 , 4G001BD03 , 4G001BD04 , 4G001BD13 , 4G001BD23 , 4G001BD37 , 4G001BE15

引用特許：

出願人引用 (1件)

BN系焼結体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-148899 出願人：電気化学工業株式会社

審査官引用 (7件)

BN系焼結体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-148899 出願人：電気化学工業株式会社
特開昭63-260866
セラミツク基板及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-063607 出願人：新技術事業団

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