回折面上の欠陥を検出するための高感度光学検査システムおよび方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山本秀策 , 安村高明 , 森下夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-510920
公開番号（公開出願番号）：特表2004-503770
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

表面パターンを含む回折面上の欠陥を検出するための改良された高感度光学検査システムは、回折面上の所定の領域を照射して、欠陥または表面パタンに応答して散乱強度分布を生成する第1および第2の照射手段と、回折面のまわりの複数の位置において散乱強度分布の強度レベルを検出する手段と、検出された最小強度レベルを確定する手段と、検出された最小強度レベルが閾値強度レベル未満である場合には、回折面の照射領域上に欠陥が存在しないことを示し、検出された最小強度レベルが閾値強度レベルを超える場合には、回折面の照射領域上に欠陥が存在することを示す、検出された最小強度レベルに応答する手段と、回折面を移動させ回折面上に走査パターンを生成し、表面全体を検査する手段とを備える。

請求項（抜粋）：

表面パターンを含む回折面上の欠陥を検出する光学検査システムであって、該回折面の第1の領域を照射し、第1の散乱強度分布を生成する第1のビームと、該回折面の第2の領域を照射し、第2の散乱強度分布を生成する第2のビームとを設けた少なくとも1つの光源と、該第1および該第2の拡散強度分布を検出するための複数の検出器であって、該回折面のまわりに設けられた複数の検出器と、該検出器に接続された検出回路であって、欠陥が該回折面に存在するか否かを判定する検出回路と、該回折面を安全に維持する移動実装テーブルであって、該回折面を該第1および該第2のビームに対して該回折面上に走査パターンを生成するように移動する移動実装テーブルとを備えた光学検査システム。

IPC (2件)：

G01N21/956 , G06T1/00

FI (4件)：

G01N21/956 A , G06T1/00 305A , G06T1/00 400C , G06T1/00 400G

Fターム (30件)：

2G051AA51 , 2G051AB07 , 2G051BA05 , 2G051BA10 , 2G051BB01 , 2G051BB11 , 2G051CA02 , 2G051CA07 , 2G051CB05 , 2G051DA07 , 2G051EA14 , 2G051EA24 , 2G051EB01 , 2G051FA01 , 5B047AA11 , 5B047AA25 , 5B047BB00 , 5B047BC09 , 5B047BC11 , 5B047BC30 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA17 , 5B057BA19 , 5B057BA29 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC03 , 5B057DC22

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-102249
特開平3-102249
ウェーハ表面検査方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-323939 出願人：株式会社トプコン

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