特許
J-GLOBAL ID：200903024966430755
スリットノズル洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-089253
公開番号（公開出願番号）：特開2005-270841
出願日： 2004年03月25日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 スリットノズル先端を拭き取る際に、拭き取り部材の消耗を抑えることができるスリットノズル洗浄装置を提供する。【解決手段】 上ブロック5はスリットノズル100の傾斜面101と略平行な傾斜面8を有し、この傾斜面8に洗浄液を傾斜面101に向けて供給する洗浄液供給部9の開口10が形成され、この開口10の直上位置の傾斜面の一部を開口10の面よりも傾斜面101側に凸となった規制部11とし、この規制部11によって傾斜面101と傾斜面8とが接触した場合でも開口10が塞がれることがないようにしている。また、一対の上ブロック5,5間にはガイド部材12、12を介して拭き取り部材13を配置している。また、拭き取り部材13はスポンジ、ゴム、樹脂などの比較的軟らかい材料で構成され、スリットノズル100が下降した場合にスリットノズル100の下端部形状に倣って、ある程度の幅で接触する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
スリットノズルの吐出口に拭き取り部材を接触させながらスリットノズルの長手方向に沿って相対的に移動することで吐出口に付着した余分な塗布液を除去するようにしたスリットノズル洗浄装置において、この洗浄装置は、スリットノズル先端傾斜面に洗浄液を供給する洗浄液供給部を備え、この洗浄液供給部は前記拭き取り部材とともにスリットノズルの長手方向に沿って相対的に移動可能とされ、また前記スリットノズル先端傾斜面によって洗浄液供給部の開口が塞がれるのを防止する規制部を備えていることを特徴とするスリットノズル洗浄装置。
IPC (4件)：
B05C5/02
, B05C11/10
, H01L21/027
, H01L21/304
B05C5/02
, B05C11/10
, H01L21/304 644Z
, H01L21/30 564Z
4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA60
, 4F041CA02
, 4F041CA28
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AB00
, 4F042CC08
, 4F042CC10
, 5F046JA02
, 5F046JA22
, 5F046JA27
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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