特許
J-GLOBAL ID:200903024979301075
超短光パルスによる透明材料の接合方法、物質接合装置、接合物質
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩永 和久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-298620
公開番号(公開出願番号):特開2005-066629
出願日: 2003年08月22日
公開日(公表日): 2005年03月17日
要約:
【課題】 中間層を用いずに、特定の波長に対して透明な媒質同士を高精度に接合せしめる接合方法を提供する。 【解決手段】 増幅チタンサファイアレーザー4より照射された超短光パルス2を対物レンズ11により、同種/異種物質1を直接積層させた少なくとも2つの当接部に集光する。XYステージ13を移動させることにより、レーザービームの照射位置を制御し、接合すべき当接部の位置に任意の接合形状を生成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
短時間パルス幅で所定位置に焦点を形成するレーザービームによる多光子吸収現象を生成させて2つの物質を接合する接合方法であって、
前記2つの物質を直接積層させた状態で積層方向接近側に圧力を付与することで該2つの物質を互いに当接させ、前記レーザービームの焦点を前記2つの物質の当接部近傍に位置決めして前記レーザービームを前記2つの物質の外部から照射することを特徴とする接合方法。
IPC (6件):
B23K26/10
, B23K26/00
, B23K26/04
, B29C65/16
, C03B23/203
, H01S3/00
FI (6件):
B23K26/10
, B23K26/00 310G
, B23K26/04
, B29C65/16
, C03B23/203
, H01S3/00 B
Fターム (22件):
4E068BF00
, 4E068CA03
, 4E068CA11
, 4E068CA14
, 4E068CB05
, 4E068CE09
, 4E068DB10
, 4F211AD32
, 4F211AK03
, 4F211TA01
, 4F211TC02
, 4F211TD11
, 4F211TH18
, 4F211TJ22
, 4F211TN27
, 5F072AB20
, 5F072JJ20
, 5F072KK05
, 5F072KK09
, 5F072KK15
, 5F072MM08
, 5F072YY06
引用特許: