特許
J-GLOBAL ID：200903025137760868

集束イオンビーム装置

発明者：
大西 毅

大西 毅 について

, 
小池 英巳

小池 英巳 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073147
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268768
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】欠陥検査装置,外観検査SEMで検出/分析した欠陥部位を確実かつ迅速にサンプリングする。【解決手段】集束イオンビーム装置は試料内の観察点アドレス情報を外部装置から取得する手段、アドレス情報を基に試料ステージを駆動する試料移動手段、観察点の走査電子顕微鏡像を外部装置から取得し画面上に表示する手段を備え、外観検査SEMの画像情報をFiB制御画面にSiM像と並べて表示出来るようにする。
請求項（抜粋）：
少なくともX,Y,チルト方向にウエハ試料を移動する試料移動手段、該試料に集束したイオンビームを照射して観察もしくは加工する集束イオンビーム加工観察手段、試料内の観察点を含む特定領域をFIB加工を利用して該試料から分離(サンプリング)する手段を備えた集束イオンビーム装置において、試料内の観察点アドレス情報を外部装置から取得する手段、該アドレス情報を基に試料ステージを駆動する試料移動手段、該観察点の走査電子顕微鏡像を外部装置から取得する手段、該走査電子顕微鏡像を画面上に表示する手段を備えたことを特徴とする集束イオンビーム装置。
IPC (5件)：
H01J 37/317 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66
FI (6件)：
H01J 37/317 D ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/28 B ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 N
Fターム (27件)：
4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA03 ,  4M106BA20 ,  4M106CA38 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106CA42 ,  4M106CA43 ,  4M106CA45 ,  4M106CA46 ,  4M106CA50 ,  4M106CA51 ,  4M106DA15 ,  4M106DB05 ,  4M106DH08 ,  4M106DH24 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ23 ,  5C001AA03 ,  5C001AA05 ,  5C001CC04 ,  5C033FF04 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C034DD06 ,  5C034DD09
引用特許：
審査官引用 (5件)
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