特許

J-GLOBAL ID：200903025166945621

露光マスク収容器、露光マスク入出力機構及び収容器内気圧調整装置

発明者： 藤田 太一
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (5件)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  土屋 繁 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-197585
公開番号（公開出願番号）：特開2004-039986
出願日： 2002年07月05日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】電子ビーム露光装置におけるマスク交換時間を短縮してスループットを向上でき、更にマスク交換時のパーティクル付着量が低減できる露光マスク収容器(カセット)の実現。【解決手段】露光マスクを収容する露光マスク収容器20であって、上蓋22と、内部に空間26を形成するように上蓋と結合される下蓋21と、上蓋及び下蓋の内部に形成される空間26を密閉する密閉手段25と、上蓋及び下蓋の少なくとも一方に設けられ、露光マスクを空間内に保持するマスク保持手段23,24とを備える。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

露光マスクを収容する露光マスク収容器であって、 上蓋と、 内部に空間を形成するように前記上蓋と結合される下蓋と、 前記上蓋及び前記下蓋の内部に形成される前記空間を密閉する密閉手段と、 前記上蓋及び前記下蓋の少なくとも一方に設けられ、前記露光マスクを前記空間内に保持するマスク保持手段とを備える露光マスク収容器。

IPC (7件)：

H01L21/027 ,  B65D85/86 ,  G03F1/14 ,  G03F1/16 ,  G03F7/20 ,  H01J37/305 ,  H01L21/68

FI (10件)：

H01L21/30 503E ,  G03F1/14 M ,  G03F1/16 B ,  G03F7/20 504 ,  G03F7/20 521 ,  H01J37/305 B ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 T ,  H01L21/30 541L ,  B65D85/38 R

Fターム (51件)：

2H095BA03 ,  2H095BA08 ,  2H095BB29 ,  2H095BE11 ,  2H097AA03 ,  2H097BA02 ,  2H097BA04 ,  2H097CA16 ,  2H097GA45 ,  2H097LA10 ,  3E096AA01 ,  3E096BA20 ,  3E096BB03 ,  3E096CA01 ,  3E096DA13 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DA30 ,  3E096DB06 ,  3E096DC04 ,  3E096FA03 ,  3E096FA11 ,  3E096FA22 ,  3E096FA31 ,  3E096GA01 ,  3E096GA07 ,  5C034BB05 ,  5C034BB10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031DA01 ,  5F031DA12 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA04 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA53 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09 ,  5F046AA21 ,  5F046CD02 ,  5F056EA12 ,  5F056EA15

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 収納ケース、露光装置及びデバイス製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-240276   出願人：株式会社ニコン
• 試料容器および試料搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-096545   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭63-201545
  
• 特開昭60-185607