シャドウマスク及びこれを用いたカラー薄膜EL表示装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾身祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125188
公開番号（公開出願番号）：特開平10-319870
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【目的】シャドウマスクを交換したり移動させたりすることなく、1枚のマスクで各色のEL薄膜を形成できるようにする。【構成】透明支持基板1上にITOからなるアノード2を形成し、さらにその上に正孔輸送層4を形成する。その基板を真空蒸着装置10内の基板ホルダー14上に搭載する。基板1と抵抗加熱ボート11、12、13との間に、開口部9aの側面がテーパを有しているシャドウマスク9を配置する。加熱ボート12により緑色EL材料を蒸発させて基板上に緑色発光層5を形成する。次に加熱ボート11により青色EL材料を蒸発させて基板上に青色発光層6を形成し、続いて加熱ボート13により赤色EL材料を蒸発させて基板上に赤色発光層7を形成する。その後、発光層5〜7上にカソード(図示なし)を形成する。

請求項（抜粋）：

開口部が一定間隔で複数個形成されているシャドウマスクにおいて、前記開口部は気化源からの気化物の飛来方向に合わせて主面に対して垂直でない断面形状を有していることを特徴とするシャドウマスク。

IPC (2件)：

G09F 9/30 365 , H05B 33/14

FI (2件)：

G09F 9/30 365 B , H05B 33/14

引用特許：

審査官引用 (6件)

特公昭60-007028
特開昭59-056579
機能性フィルムの成膜装置及び成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-307937 出願人：凸版印刷株式会社

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