特許
J-GLOBAL ID:200903025195342162
紫外線処理方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-014522
公開番号(公開出願番号):特開平10-199846
出願日: 1997年01月09日
公開日(公表日): 1998年07月31日
要約:
【要約】【課題】 従来の紫外線処理方法を、銀あるいは銅が存在する基板にそのまま適用すると、熱とオゾンと紫外線の作用により、銀や銅のような酸化しやすい材料が酸化するという問題があった。【解決手段】 銀あるいは銅が存在する基板を紫外線で表面改質する紫外線処理方法において、酸素あるいはオゾンの存在する雰囲気中で、基板温度を25〜50°Cの範囲で紫外線を照射して処理を行う。
請求項(抜粋):
銀あるいは銅が存在する基板を紫外線で表面改質する紫外線処理方法において、酸素あるいはオゾンの存在する雰囲気中で、基板温度を25〜50°Cの範囲で紫外線を照射して処理を行うことを特徴とする紫外線処理方法。
引用特許: