特許

J-GLOBAL ID：200903025349574533

高出力微細加工スイッチ

発明者： マーヴィン・グレン・ウォン
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 古谷 馨 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-304590
公開番号（公開出願番号）：特開2003-217423
出願日： 2002年10月18日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：

【要約】【課題】 高出力環境下で駆動可能なMEMSスイッチを提供する。【解決手段】 本発明のMEMSスイッチは、基板(120)に取りつけられている撓み梁(130)と、基板(120)に取りつけられている駆動板(160)と、撓み梁(130)に取りつけられている被駆動板(140)と、基板(120)に取りつけられている第1の信号経路板(150)と、撓み梁(130)に取りつけられている第2の信号経路板(170)と、第1の信号経路板(150)及び第2の信号経路板(170)のうち一方に取りつけられている絶縁体(180)を備えるMEMSスイッチであって、第1の信号経路板(150)及び第2の信号経路板(170)が信号経路に接続され、それによって第1の信号経路板(150)と第2の信号経路板(170)が互いに近接すると、信号経路が閉じ、固体スイッチ(300)がMEMSスイッチ(100)と並列であり、信号経路に接続していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板(120)に取りつけられている撓み梁(130)と、該基板(120)に取りつけられている駆動板(160)と、前記撓み梁(130)に取りつけられている被駆動板(140)と、前記基板(120)に取りつけられている第1の信号経路板(150)と、前記撓み梁(130)に取りつけられている第2の信号経路板(170)と、前記第1の信号経路板(150)及び第2の信号経路板(170)のうち一方に取りつけられている絶縁体(180)を備える微細電子機械システムスイッチであって、前記第1の信号経路板(150)及び前記第2の信号経路板(170)が信号経路に接続され、それによって前記第1の信号経路板(150)と前記第2の信号経路板(170)が互いに近接すると、信号経路が閉じ、固体スイッチ(300)が前記微細電子機械システムスイッチ(100)と並列であり、前記信号経路に接続していることを特徴とする微細電子機械システムスイッチ。

IPC (3件)：

H01H 59/00 ,  B81B 3/00 ,  H01P 1/12

FI (3件)：

H01H 59/00 ,  B81B 3/00 ,  H01P 1/12

Fターム (1件)：

5J012AA07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• マイクロマシンスイッチおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-119743   出願人：日本電気株式会社
• マイクロマシンスイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-001641   出願人：日本電気株式会社
• 静電容量型センサ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-076443   出願人：オムロン株式会社
• 半導体装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-095815   出願人：日本電信電話株式会社