非接触搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：大川晃 , 田邉隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-352933
公開番号（公開出願番号）：特開2006-160434
出願日： 2004年12月06日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】比較的小型のワークを非接触で懸垂保持することを可能にした非接触搬送装置を提供する。【解決手段】非接触搬送装置は多数の透孔4および中心孔5を備えたノズル1と、ノズル1全体を取り囲みノズルの周りにエアチャンバ3を形成するように設けられたケース2と、ケース2の上面に設けられた補助ケース7とを備える。補助ケース7はチャンバ7を有する。ノズル1の透孔4はエアチャンバ3とワークW上面の空間とを連通し、ノズル1の中心孔5はワークW上面の空間とチャンバ7とを連通している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

多数の透孔および中心孔を備えたノズルと、前記ノズル全体を取り囲み前記ノズルの周りにエアチャンバを形成するように設けられたケースと、前記ケースの上面に設けられ、チャンバを有する補助ケースとを備え、前記ノズルの透孔は前記エアチャンバとワーク上面との間の空間とを連通すると共に、前記ノズルの中心孔はワーク上面の空間と前記チャンバとを連通している非接触搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 49/07 , B25J 15/06 , H01L 21/677

FI (3件)：

B65G49/07 H , B25J15/06 Z , H01L21/68 C

Fターム (7件)：

3C007FS04 , 3C007NS13 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031GA28 , 5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平2-305740
特開昭63-001647
研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-086995 出願人：新日本製鐵株式会社, ニッテツ電子株式会社

全件表示

前のページに戻る