並進運動の光学式測定

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松岡修平
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-545558
公開番号（公開出願番号）：特表2000-508430
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】測定装置に対する表面の相対運動を決定する方法であって、入射照明で前記表面を照明するステップと、前記表面から反射した照明を検出して、少なくとも1つの検出信号を形成するステップと、前記少なくとも1つの検出信号から、前記表面に平行な相対運動の量を決定するステップとを含み、前記決定するステップが、前記表面に対して垂直な相対運動の影響を修正するステップを含むことを特徴とする方法。

請求項（抜粋）：

測定装置に対する表面の相対運動を決定する方法であって、入射照明で表面を照明し、前記表面から反射した照明を検出して、少なくとも1つの検出信号を形成し、前記少なくとも1つの検出信号から前記表面に平行な相対運動の量を決定し、平行な相対運動の量の決定に使用した同じ入射照明から得た信号を使用して、前記表面に対して垂直な相対運動の影響に合わせ、前記表面に平行な相対運動の決定を修正すること、を含む方法。

IPC (5件)：

G01S 17/50 , G01B 11/00 , G01D 5/38 , G01P 3/36 , G06F 3/033 310

FI (5件)：

G01S 17/50 , G01B 11/00 G , G01D 5/38 B , G01P 3/36 E , G06F 3/033 310 C

引用特許：

出願人引用 (6件)

レーザ測長器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-346467 出願人：エヌティエヌ株式会社
マイケルソン干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-177712 出願人：ドイッチェフォルシュングザンシュタルトフュルルフト-ウントラウムファールトアインゲトラゲネルフェライン
光学装置及び速度情報検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045254 出願人：キヤノン株式会社

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審査官引用 (7件)

レーザ測長器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-346467 出願人：エヌティエヌ株式会社
対地速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-266284 出願人：トヨタ自動車株式会社
マイケルソン干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-177712 出願人：ドイッチェフォルシュングザンシュタルトフュルルフト-ウントラウムファールトアインゲトラゲネルフェライン

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