特許
J-GLOBAL ID：200903025450078113
光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-070690
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249570
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：
【要約】【課題】 レーザ光を用いてマスク面上のマスクパターンを加工物に高精度に加工することができる光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法を得ること。【解決手段】 光源から放射された光束で照明系によってマスク面上のパターンを照明し、該パターンを投影レンズで加工物上に投影し、該加工物を該パターンで加工する光加工機において、該照明系はアナモフィック光学素子と単レンズを複数個、配列したフライアイレンズを有し、第1平面内ではケーラー照明系を構成し、該第1平面と直交する第2平面内では入射光束を複数の光束に分割して複数の光源像を形成するとともにクリティカル照明系を構成していること。
請求項（抜粋）：
光源から放射された光束で照明系によってマスク面上のパターンを照明し、該パターンを投影レンズで加工物上に投影し、該加工物を該パターンで加工する光加工機において、該照明系はアナモフィック光学素子と単レンズを複数個、配列したフライアイレンズを有し、第1平面内ではケーラー照明系を構成し、該第1平面と直交する第2平面内では入射光束を複数の光束に分割して複数の光源像を形成するとともにクリティカル照明系を構成していることを特徴とする光加工機。
IPC (2件)：
B23K 26/06
, B23K 26/00 330
B23K 26/06 Z
, B23K 26/00 330
